日本小坂KOSAKA 輪廓儀|輪廓形狀測(cè)定機(jī)EF651D
日本小坂KOSAKA 輪廓儀 | 輪廓形狀測(cè)定機(jī)EF651D特點(diǎn)
★ 采用數(shù)字式傳感器、執(zhí)行高精度的輪廓形狀評(píng)價(jià)。
★ 多種解析功能：方位向量解析、滾珠螺桿解析、非球面解析。
★ 測(cè)定資料圖表可自由編組表格。
日本小坂KOSAKA 輪廓儀 | 輪廓形狀測(cè)定機(jī)EF651D產(chǎn)品參數(shù)
|
測(cè)定范圍
|
Z:60mm X: 100mm
|
|
測(cè)定精度
|
士(0.8+2H/100)um
|
|
觸針/測(cè)定力
|
R25um 30mN以下
|
|
測(cè)定角度
|
上坡77° 下坡87°
|
|
解析
|
要素解析/方位向量/MASTER比較/ 滾珠螺桿/非球面解析
|
|
分解能
|
Z:0.025um
|
|
直線度精度
|
1.0um/100mm
|
